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  1. 060 工学部
  2. 10 学術雑誌論文
  3. 10 査読済論文
  1. 0 資料タイプ別
  2. 01 学術雑誌論文

Exact measurement of flat surface profiles by object shifts in a phase-conjugate Fizeau interferometer

http://hdl.handle.net/10191/27596
http://hdl.handle.net/10191/27596
b46a5396-a738-4483-bac0-ccdc2436eb41
名前 / ファイル ライセンス アクション
34_10_2957-2963.pdf 34_10_2957-2963.pdf (781.4 kB)
Item type 学術雑誌論文 / Journal Article(1)
公開日 2014-06-20
タイトル
タイトル Exact measurement of flat surface profiles by object shifts in a phase-conjugate Fizeau interferometer
タイトル
タイトル Exact measurement of flat surface profiles by object shifts in a phase-conjugate Fizeau interferometer
言語 en
言語
言語 eng
キーワード
主題Scheme Other
主題 flatness testing
キーワード
主題Scheme Other
主題 interferometers
キーワード
主題Scheme Other
主題 phase conjugation
資源タイプ
資源 http://purl.org/coar/resource_type/c_6501
タイプ journal article
著者 Sasaki, Osami

× Sasaki, Osami

WEKO 7519

Sasaki, Osami

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Takebayashi, Yuuichi

× Takebayashi, Yuuichi

WEKO 7520

Takebayashi, Yuuichi

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Wang, Xiangzhao

× Wang, Xiangzhao

WEKO 7521

Wang, Xiangzhao

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Suzuki, Takamasa

× Suzuki, Takamasa

WEKO 39

Suzuki, Takamasa

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抄録
内容記述タイプ Abstract
内容記述 We propose a method of exact measurement of flat surface profiles in a phase-conjugate Fizeau interferometer. Aberration of lenses causes an undesirable phase distribution in the interference signal of the phase-conjugate Fizeau interferometer. To eliminate this phase distribution, we shift the object in two directions orthogonal to each other and displacements of the object surface involved in the shifts lead to some small errors in the difference values. We estimate an exact surface profile by solving the difference equations. Characteristics of the method are made clear through computer simulations and measurments of a 40-mm-diameter flat mirror.
書誌情報 Optical Engineering
en : Optical Engineering

巻 34, 号 10, p. 2957-2963, 発行日 1995-10
出版者
出版者 International Society for Optical Engineering, SPIE
ISSN
収録物識別子タイプ ISSN
収録物識別子 00913286
書誌レコードID
収録物識別子タイプ NCID
収録物識別子 AA00333891
DOI
識別子タイプ DOI
関連識別子 info:doi/10.1117/12.210750
権利
権利情報 Copyright 1995 Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers. One print or electronic copy may be made for personal use only. Systematic reproduction and distribution, duplication of any material in this paper for a fee or for commercial purposes, or modification of the content of the paper are prohibited.
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Ver.1 2021-03-01 20:42:13.531015
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Sasaki, Osami, Takebayashi, Yuuichi, Wang, Xiangzhao, Suzuki, Takamasa, 1995, Exact measurement of flat surface profiles by object shifts in a phase-conjugate Fizeau interferometer: International Society for Optical Engineering, SPIE, 2957–2963 p.

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