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超伝導磁気浮上を適用した半導体製造用非接触スピン処理装置の要素開発研究 : 非接触スピナの実用化検討
http://hdl.handle.net/10191/24587
http://hdl.handle.net/10191/245872ec71f58-94e8-458e-b23e-f68a66b3698a
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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本文 (7.1 MB)
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要旨 (199.6 kB)
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| Item type | 学位論文 / Thesis or Dissertation(1) | |||||
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| 公開日 | 2014-05-28 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 超伝導磁気浮上を適用した半導体製造用非接触スピン処理装置の要素開発研究 : 非接触スピナの実用化検討 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 超伝導磁気浮上を適用した半導体製造用非接触スピン処理装置の要素開発研究 : 非接触スピナの実用化検討 | |||||
| 言語 | en | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_46ec | |||||
| 資源タイプ | thesis | |||||
| 著者 |
斎藤, 公世
× 斎藤, 公世 |
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| 内容記述 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 学位の種類: 博士（工学）. 報告番号: 甲第3825号. 学位記番号: 新大院博（工）甲第401号. 学位授与年月日: 平成25年9月20日 | |||||
| 書誌情報 | p. 1-78, 発行日 2013-09-20 | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 新潟大学 | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 値 | ETD | |||||
| 学位名 | ||||||
| 学位名 | 博士（工学） | |||||
| 学位授与機関 | ||||||
| 学位授与機関名 | 新潟大学 | |||||
| 学位授与年月日 | ||||||
| 学位授与年月日 | 2013-09-20 | |||||
| 学位授与番号 | ||||||
| 学位授与番号 | 13101A3825 | |||||
| 学位記番号 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 新大院博（工）甲第401号 | |||||
