@misc{oai:niigata-u.repo.nii.ac.jp:00005376,
 author = {斎藤, 公世},
 month = {Sep},
 note = {学位の種類: 博士（工学）. 報告番号: 甲第3825号. 学位記番号: 新大院博（工）甲第401号. 学位授与年月日: 平成25年9月20日, 新大院博（工）甲第401号},
 title = {超伝導磁気浮上を適用した半導体製造用非接触スピン処理装置の要素開発研究 : 非接触スピナの実用化検討},
 year = {2013}
}