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超微小硬さ試験を利用した微小電子部品の材料特性評価法
http://hdl.handle.net/10191/5612
http://hdl.handle.net/10191/5612d3078148-79df-4c5a-a97a-6ef847ac78e8
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
4_0145.pdf (509.2 kB)
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| Item type | 会議発表論文 / Conference Paper(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2008-04-08 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 超微小硬さ試験を利用した微小電子部品の材料特性評価法 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 超微小硬さ試験を利用した微小電子部品の材料特性評価法 | |||||
| 言語 | en | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | Ultramicro Hardness Test | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | Young's Modulus | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | Material Characteristics | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源 | http://purl.org/coar/resource_type/c_5794 | |||||
| タイプ | conference paper | |||||
| その他のタイトル | ||||||
| その他のタイトル | Evalutional Method of the Material Characteristics for the Small Size Electronic Using Ultramicro Hardness Test | |||||
| 著者 |
石橋, 達弥
× 石橋, 達弥× 天野, 裕久× 大木, 基史× 藤塚, 将行× 吉川, 裕輔× 濱岸, 憲一朗 |
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| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 170461 | |||||
| 姓名 | Ishibashi, Tatsuya | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 170462 | |||||
| 姓名 | Amano, Hirohisa | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 170463 | |||||
| 姓名 | Ohki, Motofumi | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 170464 | |||||
| 姓名 | Fujitsuka, Masayuki | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 170465 | |||||
| 姓名 | Yosikawa, Yusuke | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 170466 | |||||
| 姓名 | Hamagishi, Kenichirou | |||||
| 書誌情報 |
山梨講演会講演論文集 en : 山梨講演会講演論文集 巻 000-4, p. 39-40, 発行日 2000 |
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| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 日本機械学会 | |||||
| 書誌レコードID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AN10553987 | |||||
| 権利 | ||||||
| 権利情報 | 日本機械学会 | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 値 | publisher | |||||
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Cite as
石橋, 達弥, 天野, 裕久, 大木, 基史, 藤塚, 将行, 吉川, 裕輔, 濱岸, 憲一朗, 2000, 超微小硬さ試験を利用した微小電子部品の材料特性評価法: 日本機械学会, 39–40 p.
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