WEKO3
アイテム
Ｘ線光電子分光装置付属の高速エッチング装置を利用した標準用Auスパッタの試み
http://hdl.handle.net/10191/1389
http://hdl.handle.net/10191/1389b4c1b00c-f719-4702-904f-1669a234f661
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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11_0012.pdf (2.2 MB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
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| 公開日 | 2007-04-23 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | Ｘ線光電子分光装置付属の高速エッチング装置を利用した標準用Auスパッタの試み | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | Ｘ線光電子分光装置付属の高速エッチング装置を利用した標準用Auスパッタの試み | |||||
| 言語 | en | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||
| 著者 |
上松, 和義
× 上松, 和義 |
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| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 55055 | |||||
| 姓名 | Uematsu, Kazuyoshi | |||||
| 書誌情報 |
技術発表会報告集 en : 技術発表会報告集 巻 1, p. 56-61, 発行日 1999-11 |
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| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 新潟大学工学部技術部 | |||||
| 書誌レコードID | ||||||
| 識別子タイプ | NCID | |||||
| 関連識別子 | BA40546772 | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 値 | author | |||||
