@article{oai:niigata-u.repo.nii.ac.jp:00007118,
 author = {上松, 和義},
 journal = {技術発表会報告集, 技術発表会報告集},
 month = {Nov},
 pages = {56--61},
 title = {Ｘ線光電子分光装置付属の高速エッチング装置を利用した標準用Auスパッタの試み},
 volume = {1},
 year = {1999}
}