WEKO3
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アイテム
光学的性質を利用したシリコン単結晶の結晶欠陥の検出方法の研究
http://hdl.handle.net/10191/7537
http://hdl.handle.net/10191/7537b5b2a7c8-1a90-4d78-ae66-8c4b09091b49
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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要旨 (507.4 kB)
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| Item type | 学位論文 / Thesis or Dissertation(1) | |||||
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| 公開日 | 2009-04-09 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 光学的性質を利用したシリコン単結晶の結晶欠陥の検出方法の研究 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 光学的性質を利用したシリコン単結晶の結晶欠陥の検出方法の研究 | |||||
| 言語 | en | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源 | http://purl.org/coar/resource_type/c_46ec | |||||
| タイプ | thesis | |||||
| 著者 |
斉藤, 広幸
× 斉藤, 広幸 |
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| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 49174 | |||||
| 姓名 | Saito, Hiroyuki | |||||
| 内容記述 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 新潟大学 | |||||
| 内容記述 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 平成18年9月21日 | |||||
| 内容記述 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 新大博（学）第51号 | |||||
| 書誌情報 | 発行日 2006-09-21 | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 値 | author | |||||
| 学位名 | ||||||
| 学位名 | 博士（学術） | |||||
| 学位授与機関 | ||||||
| 学位授与機関名 | 新潟大学 | |||||
| 学位授与年月日 | ||||||
| 学位授与年月日 | 2006-09-21 | |||||
| 学位授与番号 | ||||||
| 学位授与番号 | 13101乙第2059号 | |||||
| 学位記番号 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 新大博（学）乙第51号 | |||||
