@misc{oai:niigata-u.repo.nii.ac.jp:00004837, author = {斉藤, 広幸}, month = {Sep}, note = {新潟大学, 平成18年9月21日, 新大博(学)第51号, 新大博(学)乙第51号}, title = {光学的性質を利用したシリコン単結晶の結晶欠陥の検出方法の研究}, year = {2006} }