WEKO3
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アイテム
タフなMEMSのためのマイナーメタルの微細加工プロセスの開発
http://hdl.handle.net/10191/00051778
http://hdl.handle.net/10191/00051778ff402be0-31d5-475c-9b0d-e1617c44a929
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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本文 (125.5 MB)
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要旨 (116.2 kB)
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| Item type | 学位論文 / Thesis or Dissertation(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2020-08-31 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | タフなMEMSのためのマイナーメタルの微細加工プロセスの開発 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源 | http://purl.org/coar/resource_type/c_46ec | |||||
| タイプ | thesis | |||||
| その他のタイトル | ||||||
| その他のタイトル | Development of Minor Metal Micro-Fabrication Process for Tough MEMS | |||||
| 著者 |
Han, Gang
× Han, Gang |
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| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 177972 | |||||
| 姓名 | 韓, 剛 | |||||
| 書誌情報 | p. 1-102 | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 値 | ETD | |||||
| 学位名 | ||||||
| 学位名 | 博士(工学) | |||||
| 学位授与機関 | ||||||
| 学位授与機関名 | 新潟大学 | |||||
| 学位授与年月日 | ||||||
| 学位授与年月日 | 2020-03-23 | |||||
| 学位授与番号 | ||||||
| 学位授与番号 | 13101甲第4767号 | |||||
| 学位記番号 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 新大院博(工)甲第502号 | |||||
