@misc{oai:niigata-u.repo.nii.ac.jp:00033980,
 author = {Han, Gang},
 month = {2020-08-31, 2020-08-31},
 note = {新大院博(工)甲第502号},
 title = {タフなMEMSのためのマイナーメタルの微細加工プロセスの開発},
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