WEKO3
アイテム
7A-4 シリコン基板光導波型加速度センサにおけるセンサ感度のダイヤフラム厚依存性
http://hdl.handle.net/10191/25287
http://hdl.handle.net/10191/25287a138ab97-229a-4ceb-a2fa-04c8708bdbde
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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20_120.pdf (102.0 kB)
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| Item type | 会議発表論文 / Conference Paper(1) | |||||
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| 公開日 | 2014-02-17 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 7A-4 シリコン基板光導波型加速度センサにおけるセンサ感度のダイヤフラム厚依存性 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 7A-4 シリコン基板光導波型加速度センサにおけるセンサ感度のダイヤフラム厚依存性 | |||||
| 言語 | en | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源 | http://purl.org/coar/resource_type/c_5794 | |||||
| タイプ | conference paper | |||||
| その他のタイトル | ||||||
| その他のタイトル | Dependence of sensor sensitivity on thickness of diaphragm in silicon based guided-wave optica accelerometer | |||||
| 著者 |
遠藤, 秀人
× 遠藤, 秀人× 大河, 正志× 佐藤, 孝 |
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| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 172353 | |||||
| 姓名 | Endo, Hideto | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 172354 | |||||
| 姓名 | Ohkawa, Masashi | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 172355 | |||||
| 姓名 | Sato, Takashi | |||||
| 書誌情報 |
電子情報通信学会信越支部大会講演論文集 en : 電子情報通信学会信越支部大会講演論文集 巻 20, p. 120-120, 発行日 2008-09 |
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| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 電子情報通信学会 | |||||
| 書誌レコードID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AN10361614 | |||||
| 権利 | ||||||
| 権利情報 | Copyright(C)2008IEICE | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 値 | publisher | |||||
