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  1. 060 工学部
  2. 40 学会発表資料
  3. 04 電子情報通信学会
  1. 0 資料タイプ別
  2. 04 会議発表論文

7A-4 シリコン基板光導波型加速度センサにおけるセンサ感度のダイヤフラム厚依存性

http://hdl.handle.net/10191/25287
http://hdl.handle.net/10191/25287
a138ab97-229a-4ceb-a2fa-04c8708bdbde
名前 / ファイル ライセンス アクション
20_120.pdf 20_120.pdf (102.0 kB)
Item type 会議発表論文 / Conference Paper(1)
公開日 2014-02-17
タイトル
タイトル 7A-4 シリコン基板光導波型加速度センサにおけるセンサ感度のダイヤフラム厚依存性
タイトル
タイトル 7A-4 シリコン基板光導波型加速度センサにおけるセンサ感度のダイヤフラム厚依存性
言語 en
言語
言語 jpn
資源タイプ
資源 http://purl.org/coar/resource_type/c_5794
タイプ conference paper
その他のタイトル
その他のタイトル Dependence of sensor sensitivity on thickness of diaphragm in silicon based guided-wave optica accelerometer
著者 遠藤, 秀人

× 遠藤, 秀人

WEKO 172350

遠藤, 秀人

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大河, 正志

× 大河, 正志

WEKO 172351

大河, 正志

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佐藤, 孝

× 佐藤, 孝

WEKO 172352

佐藤, 孝

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著者別名
識別子Scheme WEKO
識別子 172353
姓名 Endo, Hideto
著者別名
識別子Scheme WEKO
識別子 172354
姓名 Ohkawa, Masashi
著者別名
識別子Scheme WEKO
識別子 172355
姓名 Sato, Takashi
書誌情報 電子情報通信学会信越支部大会講演論文集
en : 電子情報通信学会信越支部大会講演論文集

巻 20, p. 120-120, 発行日 2008-09
出版者
出版者 電子情報通信学会
書誌レコードID
収録物識別子タイプ NCID
収録物識別子 AN10361614
権利
権利情報 Copyright(C)2008IEICE
著者版フラグ
値 publisher
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Ver.1 2021-03-01 09:50:48.973608
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遠藤, 秀人, 大河, 正志, 佐藤, 孝, 2008, 7A-4 シリコン基板光導波型加速度センサにおけるセンサ感度のダイヤフラム厚依存性: 電子情報通信学会, 120–120 p.

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