@inproceedings{oai:niigata-u.repo.nii.ac.jp:00031549,
 author = {遠藤, 秀人 and 大河, 正志 and 佐藤, 孝},
 book = {電子情報通信学会信越支部大会講演論文集, 電子情報通信学会信越支部大会講演論文集},
 month = {Sep},
 pages = {120--120},
 publisher = {電子情報通信学会},
 title = {7A-4 シリコン基板光導波型加速度センサにおけるセンサ感度のダイヤフラム厚依存性},
 volume = {20},
 year = {2008}
}