WEKO3
アイテム
超微小硬さ試験機を利用した薄膜の膜厚測定の試み
http://hdl.handle.net/10191/5580
http://hdl.handle.net/10191/5580ae040c95-1bf9-4c01-9952-73a05517a4cf
名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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4_0113.pdf (1.8 MB)
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Item type | 会議発表論文 / Conference Paper(1) | |||||
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公開日 | 2008-04-08 | |||||
タイトル | ||||||
タイトル | 超微小硬さ試験機を利用した薄膜の膜厚測定の試み | |||||
タイトル | ||||||
言語 | en | |||||
タイトル | 超微小硬さ試験機を利用した薄膜の膜厚測定の試み | |||||
言語 | ||||||
言語 | jpn | |||||
キーワード | ||||||
主題Scheme | Other | |||||
主題 | Ultramicro Hardness Test | |||||
キーワード | ||||||
主題Scheme | Other | |||||
主題 | Sn coating | |||||
キーワード | ||||||
主題Scheme | Other | |||||
主題 | Thickness for Thin Film | |||||
資源タイプ | ||||||
資源 | http://purl.org/coar/resource_type/c_5794 | |||||
タイプ | conference paper | |||||
その他のタイトル | ||||||
その他のタイトル | Trial of Measurement on the Thickness for Thin Film Using Ultramicro Hardness Tester | |||||
著者 |
宮路, 葉
× 宮路, 葉× 石橋, 達弥× 大木, 基史× 天野, 裕久× 中福, 頼綱 |
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著者別名 | ||||||
識別子 | 170032 | |||||
識別子Scheme | WEKO | |||||
姓名 | Miyazi, You | |||||
著者別名 | ||||||
識別子 | 170033 | |||||
識別子Scheme | WEKO | |||||
姓名 | Ishibashi, Tatsuya | |||||
著者別名 | ||||||
識別子 | 170034 | |||||
識別子Scheme | WEKO | |||||
姓名 | Ohki, Motofumi | |||||
著者別名 | ||||||
識別子 | 170035 | |||||
識別子Scheme | WEKO | |||||
姓名 | Amano, Hirohisa | |||||
著者別名 | ||||||
識別子 | 170036 | |||||
識別子Scheme | WEKO | |||||
姓名 | Nakafuku, Yorituna | |||||
書誌情報 |
関東支部ブロック合同講演会講演論文集 en : 関東支部ブロック合同講演会講演論文集 巻 020-2, p. 129-130, 発行日 2002 |
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出版者 | ||||||
出版者 | 日本機械学会 | |||||
権利 | ||||||
権利情報 | 日本機械学会 | |||||
著者版フラグ | ||||||
値 | publisher |