@inproceedings{oai:niigata-u.repo.nii.ac.jp:00031166,
 author = {宮路, 葉 and 石橋, 達弥 and 大木, 基史 and 天野, 裕久 and 中福, 頼綱},
 book = {関東支部ブロック合同講演会講演論文集, 関東支部ブロック合同講演会講演論文集},
 month = {},
 pages = {129--130},
 publisher = {日本機械学会},
 title = {超微小硬さ試験機を利用した薄膜の膜厚測定の試み},
 volume = {020-2},
 year = {2002}
}