WEKO3
アイテム
研磨レート安定化によるCMP加工精度向上に関する研究(学位論文要約）
http://hdl.handle.net/10191/2191
http://hdl.handle.net/10191/2191e12400ad-21ab-4497-9c93-1c19619fcbbc
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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KJ00004293481.pdf (385.2 kB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
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| 公開日 | 2007-05-10 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 研磨レート安定化によるCMP加工精度向上に関する研究(学位論文要約） | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 研磨レート安定化によるCMP加工精度向上に関する研究(学位論文要約） | |||||
| 言語 | en | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| タイプ | departmental bulletin paper | |||||
| その他のタイトル | ||||||
| その他のタイトル | Study on improvement of machining accuracy by stabilizing polishing removal rate on CMP(SUMMARIES OF DOCTORAL THESES) | |||||
| 著者 |
大川, 哲男
× 大川, 哲男 |
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| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 159501 | |||||
| 姓名 | Ookawa, Tetsuo | |||||
| 書誌情報 |
新潟大学工学部研究報告 en : 新潟大学工学部研究報告 巻 54, p. 15-16, 発行日 2005-03 |
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| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 新潟大学工学部 | |||||
| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 03744345 | |||||
| 書誌レコードID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AN0018327X | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 値 | publisher | |||||
