@article{oai:niigata-u.repo.nii.ac.jp:00027607,
 author = {大川, 哲男},
 journal = {新潟大学工学部研究報告, 新潟大学工学部研究報告},
 month = {Mar},
 pages = {15--16},
 title = {研磨レート安定化によるCMP加工精度向上に関する研究(学位論文要約）},
 volume = {54},
 year = {2005}
}