WEKO3
アイテム
X線によるセラミック膜の応力こう配の解析
http://hdl.handle.net/10191/5708
http://hdl.handle.net/10191/5708c38bdd78-72a0-406a-8b42-3edfaaee4125
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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9_0006.pdf (508.2 kB)
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| Item type | 学術雑誌論文 / Journal Article(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2008-04-08 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | X線によるセラミック膜の応力こう配の解析 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | X線によるセラミック膜の応力こう配の解析 | |||||
| 言語 | en | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | Residual Stress | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | Experimental Stress Analysis | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | Ceramics | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | X-ray Stress Measurement | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | Thin Film | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | Coating Film | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| タイプ | journal article | |||||
| その他のタイトル | ||||||
| その他のタイトル | Analysis of Stress Gradient in Ceramic Film by X-Ray Method | |||||
| 著者 |
鈴木, 賢治
× 鈴木, 賢治× 田中, 啓介× 坂井田, 喜久 |
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| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 44685 | |||||
| 姓名 | Suzuki, Kenji | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 44686 | |||||
| 姓名 | Tanaka, Keisuke | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 44687 | |||||
| 姓名 | Sakaida, Yoshihisa | |||||
| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | The sin^2 ψ diagram taken from a specimen with steep stress gradients beneath the surface shows nonlinearity because the X-ray penetration depth changes depending on the tilt angle. Stress gradients can be determined from this nonlinearity. Since ceramic materials have a deep X-ray peretration depth, the thickness of a thin ceramic film should have a significant effect on the nonlinearity of the sin^2 ψ method. In this paper, we propose a method of X-ray measurement of the stress gradient which takes into account of the effect of the thickness of a film under the assumption of linear stress gradients. The film made of silicon nitride was prepared. A 58 μm thick film specimen was carefully polished with diamond slurry to obtain sharp profiles of the X-ray diffraction. To apply the linear stress gradients, the specimen was bent on a cylinder. The stress distribution estimated by the present method agreed well with the applied bending stress, From the present study, stress gradients should be analyzed in terms of the weighted average stress on the basis of the whole intensity of the diffracted X-rays from thin films. when the thickness is less than six times the effective X-ray penetration depth. | |||||
| 書誌情報 |
日本機械学会論文集. A編 en : 日本機械学会論文集. A編 巻 63, 号 610, p. 1243-1248, 発行日 1997-06 |
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| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 日本機械学会 | |||||
| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 03875008 | |||||
| 書誌レコードID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AN0018742X | |||||
| 権利 | ||||||
| 権利情報 | 日本機械学会 / 本文データは学会の許諾に基づくCiNiiからの複製である | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 値 | publisher | |||||
| 異版である | ||||||
| 関連タイプ | isVersionOf | |||||
| 識別子タイプ | URI | |||||
| 関連識別子 | http://ci.nii.ac.jp/naid/110002374159 | |||||
