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スパッタたい積後空気中熱処理によるSrAl_2O_4薄膜の特性
http://hdl.handle.net/10191/8848
http://hdl.handle.net/10191/884899d112c8-66b8-43f1-bc08-c8818b9671ea
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
J87-C_3_343-349.pdf (563.8 kB)
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| Item type | 学術雑誌論文 / Journal Article(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2009-06-25 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | スパッタたい積後空気中熱処理によるSrAl_2O_4薄膜の特性 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | SrAl_2O_4薄膜 | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | 長残光性蛍光体 | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | 反応性スパッタ | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | 熱処理 | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| タイプ | journal article | |||||
| 著者 |
清水, 英彦
× 清水, 英彦× 池田, 倫秋× 石井, 岳志× 丸山, 武男× 加藤, 景三× 岩野, 春男× 川上, 貴浩× 太田, 雅壽× 関川, 智洋 |
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| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 42592 | |||||
| 姓名 | Shimizu, Hidehiko | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 42593 | |||||
| 姓名 | Ikeda, Noriaki | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 42594 | |||||
| 姓名 | Ishii, Takeshi | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 42595 | |||||
| 姓名 | Maruyama, Takeo | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 42596 | |||||
| 姓名 | Kato, Keizo | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 42597 | |||||
| 姓名 | Iwano, Haruo | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 42598 | |||||
| 姓名 | Kawakami, Takahiro | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 42599 | |||||
| 姓名 | Ohta, Masatoshi | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 42600 | |||||
| 姓名 | Sekigawa, Tomohiro | |||||
| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | SrAl_2O_4蛍光体は，複数の希土類（Eu，Dyなど）を加えることにより，優れた残光性及び高輝度を示す材料である．そこで本研究では，SrAl_2O_4蛍光体薄膜の結晶性及び配向性の制御を行うための知見を得るために，スパッタたい積時の酸素分圧を変えて作製した膜を空気中で熱処理を行う方法を試みた．その結果，スパッタ膜たい積時の酸素分圧を0.1 Paとし，空気中1000℃で熱処理を行うことにより，膜のはく解を抑制することが可能であること．はく解が抑制される条件で作製した膜は，結晶性及び配向性も良好であり，（010）配向膜が得られること．酸素分圧を0.1 Paで作製した膜では，中心部において2価のEuに起因した緑色の発光が，端部では3価のEuに起因した赤色の発光が確認されたこと．酸素分圧が0.1 Pa以外の膜では，3価のEuに起因した赤色の発光のみが確認されることが明らかとなった． | |||||
| 書誌情報 |
電子情報通信学会論文誌. C, エレクトロニクス en : 電子情報通信学会論文誌. C, エレクトロニクス 巻 J87-C, 号 3, p. 343-349, 発行日 2004-03 |
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| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 電子情報通信学会 | |||||
| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 13452827 | |||||
| 書誌レコードID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AA11412446 | |||||
| 権利 | ||||||
| 権利情報 | copyright©2004 IEICE | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 値 | publisher | |||||
| 異版である | ||||||
| 関連タイプ | isVersionOf | |||||
| 識別子タイプ | URI | |||||
| 関連識別子 | http://www.ieice.org/jpn/trans_online/ | |||||
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Cite as
清水, 英彦, 池田, 倫秋, 石井, 岳志, 丸山, 武男, 加藤, 景三, 岩野, 春男, 川上, 貴浩, 太田, 雅壽, 関川, 智洋, 2004, スパッタたい積後空気中熱処理によるSrAl_2O_4薄膜の特性: 電子情報通信学会, 343–349 p.
