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二重フィードバック型光波長走査干渉法による波長単位目盛りの生成とナノ計測への応用
http://hdl.handle.net/10191/6894
http://hdl.handle.net/10191/68944441ca81-4a2a-40ce-8dee-a97bc0b12f86
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
2009030049.pdf (2.7 MB)
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| Item type | 研究報告書 / Research Paper(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2009-04-04 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 二重フィードバック型光波長走査干渉法による波長単位目盛りの生成とナノ計測への応用 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 二重フィードバック型光波長走査干渉法による波長単位目盛りの生成とナノ計測への応用 | |||||
| 言語 | en | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源 | http://purl.org/coar/resource_type/c_18ws | |||||
| タイプ | research report | |||||
| 著者 |
佐々木, 修己
× 佐々木, 修己 |
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| 内容記述 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 平成16年度～平成17年度科学研究費補助金(基盤研究(C))研究成果報告書(課題番号:16560033) | |||||
| 書誌情報 | 発行日 2006 | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 値 | author | |||||
