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シュリンクフィッタを用いた高精度光学系によるレーザ微細加工装置の開発
http://hdl.handle.net/10191/24304
http://hdl.handle.net/10191/24304bfab9ac9-44e4-4eb4-8b39-f0af19a0c79f
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
110004656748.pdf (772.7 kB)
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| Item type | 学術雑誌論文 / Journal Article(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2013-11-28 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | シュリンクフィッタを用いた高精度光学系によるレーザ微細加工装置の開発 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | シュリンクフィッタを用いた高精度光学系によるレーザ微細加工装置の開発 | |||||
| 言語 | en | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | shrink fitter | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | laser | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | fine processing | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | optical system | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| タイプ | journal article | |||||
| その他のタイトル | ||||||
| その他のタイトル | Study of a Laser Material Processing System with a Fine Optical Setup using a Shrink Fitter | |||||
| 著者 |
野中, 敏
× 野中, 敏× 新田, 勇× 菅野, 明宏× 西村, 方壱× 芳賀, 亮介× 土田, 恵一 |
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| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 40777 | |||||
| 姓名 | Nonaka, Satoshi | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 58 | |||||
| 姓名 | Nitta, Isami | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 40779 | |||||
| 姓名 | Kanno, Akihiro | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 40780 | |||||
| 姓名 | Nishimura, Masakazu | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 40781 | |||||
| 姓名 | Haga, Ryosuke | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 40782 | |||||
| 姓名 | Tuchida, Keiichi | |||||
| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | In order to realize fine processing with a high precision optical system, we have developed a laser processing system with galvanometer scanners and optical lenses using a shrink fitter. The shrink fitter prevents the misalignment of the lenses at the elevated temperature. Therefore fine laser spots can be obtained over the quite wider scanning width, even at elevated temperatures. We examined the possibility of application to laser processing of this lens system using the shrink fitter. Diameters of the lenses used in this study were 160mm so that the laser spots could be scanned over the width of 100mm, in both directions of the X-axis and Y-axis. There was large distortion of the laser beam which was inherent to each lenses and can not be removed by mechanical adjustment So we introduced the formula to correct the beam path using the least square method. Finally, we developed the fine laser processing system using shrink fitter. | |||||
| 書誌情報 |
精密工学会誌論文集 en : 精密工学会誌論文集 巻 72, 号 3, p. 403-407, 発行日 2006-03 |
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| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 精密工学会 | |||||
| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 13488724 | |||||
| 書誌レコードID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AA11966630 | |||||
| 権利 | ||||||
| 権利情報 | 本文データは学協会の許諾に基づきCiNiiから複製したものである | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 値 | publisher | |||||
| 異版である | ||||||
| 関連タイプ | isVersionOf | |||||
| 識別子タイプ | URI | |||||
| 関連識別子 | http://ci.nii.ac.jp/naid/110004656748 | |||||
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Cite as
野中, 敏, 新田, 勇, 菅野, 明宏, 西村, 方壱, 芳賀, 亮介, 土田, 恵一, 2006, シュリンクフィッタを用いた高精度光学系によるレーザ微細加工装置の開発: 精密工学会, 403–407 p.
