WEKO3
アイテム / Temperature dependence of the sticking probability and molecular size of the film growth species in an atmospheric chemical vapor deposition process to form AlN from AlCl3 and NH3 / 59_20_2521-2523
59_20_2521-2523
| ファイル | ライセンス |
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59_20_2521-2523.pdf (296.8 kB)
sha256
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| 公開日 | 2019-07-29 | |||||
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| ファイル名 | 59_20_2521-2523.pdf | |||||
| 本文URL | https://niigata-u.repo.nii.ac.jp/record/1548/files/59_20_2521-2523.pdf | |||||
| ラベル | 59_20_2521-2523.pdf | |||||
| フォーマット | application/pdf | |||||
| サイズ | 296.8 kB | |||||
| Version | Date Modified | Object File Name | File Size | File Hash Value | Contributor Name | Show/非表示 |
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