WEKO3
アイテム / Temperature dependence of the sticking probability and molecular size of the film growth species in an atmospheric chemical vapor deposition process to form AlN from AlCl3 and NH3 / 59_20_2521-2523
59_20_2521-2523
ファイル | ライセンス |
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公開日 | 2014-11-17 | |||||
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ファイル名 | 59_20_2521-2523.pdf | |||||
本文URL | https://niigata-u.repo.nii.ac.jp/record/1548/files/59_20_2521-2523.pdf | |||||
ラベル | 59_20_2521-2523.pdf | |||||
フォーマット | application/pdf | |||||
サイズ | 296.8 kB |
Version | Date Modified | Object File Name | File Size | File Hash Value | Contributor Name | Show/Hide |
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