@misc{oai:niigata-u.repo.nii.ac.jp:00004736, author = {野中, 敏}, month = {Mar}, note = {新大院博(工)甲第219号, 新大院博(工)甲第219号}, title = {シュリンクフィッタ応用光学系を用いた高精度レーザ微細加工装置の開発}, year = {2006} }