@misc{oai:niigata-u.repo.nii.ac.jp:00004600, author = {趙, 学峰}, month = {Mar}, note = {新潟大学, 平成17年3月23日, 新大院博(工)第202号, 新大院博(工)甲第202号}, title = {Study on high accurate laser diode interferometer for on-machine surface profile measurement}, year = {2005} }