@misc{oai:niigata-u.repo.nii.ac.jp:00004595,
 author = {大川, 哲男},
 month = {Mar},
 note = {新潟大学, 平成17年3月23日, 新大院博（工）第197号, 新大院博（工）甲第197号},
 title = {研磨レート安定化によるCMP加工精度向上に関する研究},
 year = {2005}
}