WEKO3
アイテム / 遠心力による真空チャック面変形の実験およびFEM解析 (超精密加工と超精密工作機械<特集>) / 9_0092
9_0092
ファイル | ライセンス |
---|---|
9_0092.pdf (443.2 kB) sha256 071fafc662712f864764fe6cae4f76d5dd972b0bce11c84bb2adaadad9347bfd |
公開日 | 2008-04-08 | |||||
---|---|---|---|---|---|---|
ファイル名 | 9_0092.pdf | |||||
本文URL | https://niigata-u.repo.nii.ac.jp/record/3890/files/9_0092.pdf | |||||
ラベル | 9_0092.pdf | |||||
フォーマット | application/pdf | |||||
サイズ | 443.2 kB |
Version | Date Modified | Object File Name | File Size | File Hash Value | Contributor Name | Show/Hide |
---|