@techreport{oai:niigata-u.repo.nii.ac.jp:00033250, author = {新田, 勇}, month = {Mar}, note = {平成14年度~平成16年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書(課題番号:14350079), 添付論文は著作権上省略}, title = {SEMなみの解像度を持つ広視野レーザースキャナーの基礎研究}, year = {2005} }