@inproceedings{oai:niigata-u.repo.nii.ac.jp:00031711, author = {白井, 裕基 and 後藤, 健士 and 大河, 正志 and 関根, 征士 and 佐藤, 孝}, book = {電子情報通信学会信越支部大会講演論文集, 電子情報通信学会信越支部大会講演論文集}, month = {Oct}, pages = {247--248}, publisher = {電子情報通信学会}, title = {K6 シリコン基板を用いた光集積回路圧力センサの作成および特性評価}, volume = {12}, year = {2000} }