@inproceedings{oai:niigata-u.repo.nii.ac.jp:00031569, author = {外川, 徹郎 and 大河, 正志 and 佐藤, 孝}, book = {電子情報通信学会信越支部大会講演論文集, 電子情報通信学会信越支部大会講演論文集}, month = {Oct}, pages = {144--144}, publisher = {電子情報通信学会}, title = {8A-4 おもり付きダイヤフラムを用いたシリコン基板光導波型加速度センサ : センサ感度のおもりサイズ依存性}, volume = {19}, year = {2007} }