@inproceedings{oai:niigata-u.repo.nii.ac.jp:00031308, author = {小林, 佑輔 and 鈴木, 孝昌 and 佐々木, 修己}, book = {電気学会東京支部新潟支所研究発表会予稿集, 電気学会東京支部新潟支所研究発表会予稿集}, month = {Nov}, pages = {119--119}, publisher = {電気学会東京支部新潟支所}, title = {共通光路二波長型干渉計による段差計測系に関する検討}, volume = {20}, year = {2010} }