@article{oai:niigata-u.repo.nii.ac.jp:00027590, author = {趙, 学峰}, journal = {新潟大学工学部研究報告, 新潟大学工学部研究報告}, month = {Mar}, pages = {17--18}, title = {高精度オンマシン表面形状計測を可能とする半導体レーザ干渉計に関する研究(学位論文要約)}, volume = {55}, year = {2006} }