@article{oai:niigata-u.repo.nii.ac.jp:00027572, author = {野中, 敏}, journal = {新潟大学工学部研究報告, 新潟大学工学部研究報告}, month = {Mar}, pages = {9--10}, title = {シュリンクフィッタ応用光学系を用いた高精度レーザ微細加工装置の開発(学位論文要約)}, volume = {56}, year = {2007} }