@article{oai:niigata-u.repo.nii.ac.jp:00002681,
 author = {小宮山, 宏 and 金, 煕濬 and 大沢, 利男 and 江頭, 靖幸},
 issue = {8},
 journal = {セラミックス, セラミックス},
 month = {Mar},
 pages = {759--763},
 title = {CVD方法によるAlN膜合成のメカニズムと制御  (<特集>窒化アルミニウム(AlN))},
 volume = {26},
 year = {1991}
}