WEKO3
アイテム / Temperature dependence of the sticking probability and molecular size of the film growth species in an atmospheric chemical vapor deposition process to form AlN from AlCl3 and NH3 / 59_20_2521-2523
59_20_2521-2523
ファイル | ライセンス |
---|---|
59_20_2521-2523.pdf (296.8 kB) sha256 42091011c201047ccdabc26e6a5661077e2c836aaae4f4638f8bc6a7fef4b2ec |
公開日 | 2014-11-17 | |||||
---|---|---|---|---|---|---|
ファイル名 | 59_20_2521-2523.pdf | |||||
本文URL | https://niigata-u.repo.nii.ac.jp/record/1548/files/59_20_2521-2523.pdf | |||||
ラベル | 59_20_2521-2523.pdf | |||||
フォーマット | application/pdf | |||||
サイズ | 296.8 kB |
Version | Date Modified | Object File Name | File Size | File Hash Value | Contributor Name | Show/Hide |
---|